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光学仪器及设备
CHIP-NOVA透射电镜原位液体多功能集成样品杆
CHIP-NOVA扫描电镜原位冷冻系统
CHIP-NOVA扫描电镜原位电化学反应系统
CHIP-NOVA扫描电镜原位程序升温反应系统
CHIP-NOVA高分辨原位冷冻系统
CHIP-NOVA高分辨原位高温加热系统
CHIP-NOVA程序升温原位固体加热系统
CHIP-NOVA程序升温原位TEM气体反应系统
CHIP-NOVA程序升温原位TEM液体反应系统
CHIP-NOVA原位TEM光催化反应系统
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原位气氛反应纳流控安全管理系统
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产品描述
高真空检漏仪采用高分辨显微镜平台,xy轴微运动集成,以及高分辨电子相机和显示屏,完全契合电镜使用,具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度,并具有强大的扩展输入和输出、多通道参数设置和选择、大容量记录和存储、通信处理、质量检测、数据传输的功能等等。检测灵敏度高,位置精确,操作便捷。
技术参数:
1)整体尺寸:L*W*H=600*600*1250,柜台高805(单位:mm),以实物为准。
2)压力范围:0-1000mbar。
3)适用电镜样品台:FEI、JEOL、Hitachi(适配)
4)适用原位反应舱芯片:自组装键合一体式芯片,加热芯片,纳流体芯片。
5)极限真空小于等于1×10-6 mBar,原位样品台检漏操作真空度小于等于8×10-5 mBar。
6)接口模块含控制阀门,以在电源关闭时保持真空状态,或在检漏完成,实现检漏模块气体通入,加速样品台取出过程。
7)数字显微系统分辨率优于1微米,帧率大于等于30帧/秒。