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光学仪器及设备
CHIP-NOVA透射电镜原位液体多功能集成样品杆
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产品描述
高真空存杆仪的极限真空度为10-6mBar,为原位样品台提供高真空存放环境,可清洁样品台,避免样品台受到污染,尤其适用于原位样品台。各路存杆间相互独立,支持随存随取,方便研究人员对不同样品台的切换,触屏控制*多可实现六路样品台单独存取。系统可实现真空度检测及真空度智能维持及漏气报警功能。
技术参数:
1)尺寸:L*W*H=465*405*385(单位:mm),以实物尺寸为准。
2)压力范围:0-1000mbar。
3)存杆数量:四路、六路、十二路。
4)适用电镜样品台:FEI、JEOL、Hitachi(适配)。
5)适用原位反应舱芯片:自组装键合一体式芯片,加热芯片,纳流体芯片等。
6)极限真空小于等于1×10-6 mBar,工作的压力范围为10-5~10-2mBar。
7)接口模块含控制阀门,以在电源关闭时保持真空状态,或在取杆时,实现存杆模块气体通入,加速样品台取出过程。
8)各路存杆相互独立,存或取杆时互不影响,支持随存随取。