高真空存杆仪的极限真空度为10^-6mBar，为原位样品台提供高真空存放环境，可清洁样品台，避免样品台受到污染，尤其适用于原位样品台。各路存杆间相互独立，支持随存随取，方便研究人员对不同样品台的切换，触屏控制*多可实现六路样品台单独存取。系统可实现真空度检测及真空度智能维持及漏气报警功能。

技术参数：

1)尺寸：L*W*H=465*405*385（单位：mm），以实物尺寸为准。

2)压力范围：0-1000mbar。

3)存杆数量：四路、六路、十二路。

4)适用电镜样品台：FEI、JEOL、Hitachi（适配）。

5)适用原位反应舱芯片：自组装键合一体式芯片，加热芯片，纳流体芯片等。

6)极限真空小于等于1×10^-6 mBar，工作的压力范围为10^-5~10^-2mBar。

7)接口模块含控制阀门，以在电源关闭时保持真空状态，或在取杆时，实现存杆模块气体通入，加速样品台取出过程。

8)各路存杆相互独立，存或取杆时互不影响，支持随存随取。